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ISO 18114:2021

mai 2021 Actuel

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Résumé

This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Spécifications des produits

Standard de ISO
Publié: 11 mai 2021
Version: 2
Type de document: IS
Pages
ISBN:

Editeur: ISO
Distributeur: ISO
ICS: 71.040.40
Comité international: ISO/TC 201/SC 6

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Révise: ISO 18114:2003

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