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ISO 18114:2003

avr. 2003 Radié

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Résumé

ISO 18114:2003 specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Spécifications des produits

Standard de ISO
Publié: 14 avril 2003
Radié: 11 mai 2021
Délai d' objection - Expire: 20 décembre 2002
Version: 1
Type de document: IS
Pages
ISBN:

Editeur: ISO
Distributeur: ISO
ICS: 71.040.40
Comité international: ISO/TC 201/SC 6

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