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SN EN ISO 14644-9:2012

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Hinweis: Neuste Ausgabe: SN EN ISO 14644-9:2022

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Bestehende oder zukünftige Amendments und Versionen müssen separat erworben werden.

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Zusammenfassung

Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der partikulären Reinheitsgrade auf festen Oberflächen für Anwendungen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Prüf und Messverfahren sowie Angaben zu Oberflächenkenngrößen sind in den Anhängen A bis D enthalten. Dieser Teil der ISO 14644 gilt für alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen, wie z. B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Produkte. Die SCP Klassifizierung (Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit, en: classification of surface cleanliness by particle concentration, SCP) ist auf Partikel mit einer Größe zwischen 0,05 µm und 500 µm begrenzt. Folgende Aspekte werden in diesem Teil der Reihe ISO 14644 nicht betrachtet: - Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberflächen für bestimmte Prozesse; - Verfahrensweisen für die Reinigung von Oberflächen; - Materialkenngrößen; - Bezüge auf die wechselseitigen Bindungskräfte oder Entstehungsprozesse, die üblicherweise zeitabhängig und prozessabhängig sind; - Auswahl und Anwendung statistischer Klassifizierungs und Prüfverfahren; - weitere Kenngrößen von Partikeln, wie z. B. elektrostatische Ladung

Produktspezifikationen

  • Standard von INB
  • Ausgabedatum:
  • Rückzugsdatum:
  • Gültig ab:
  • Dokumenttyp: EN
  • Seiten
  • ICS: 13.040.35
  • Herausgeber: SNV
  • Lieferant: SNV
  • Nationales Komitee: INB/NK 184

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