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ISO 18114:2021

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This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Specifiche dei prodotti

  • Standard da ISO
  • Pubblicato:
  • Edizione: 2
  • Tipo di documento: IS
  • Publisher ISO
  • Distributor ISO
  • ICS 71.040.40
  • International TC ISO/TC 201/SC 6

Relazioni con i prodotti

Ciclo di vita del prodotto