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ISO 13083:2015

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ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.

Specifiche dei prodotti

  • Standard da ISO
  • Pubblicato:
  • Edizione: 1
  • Tipo di documento: IS
  • Pagine
  • Publisher ISO
  • Distributor ISO
  • ICS 71.040.40
  • International TC ISO/TC 201/SC 9