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ISO 17331:2004

Mai 2004 Aktuell

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Aktuell ISO 17331:2004/Amd 1:2010 Amendment von Ausgabedatum: Jul 2010 Seiten: 2 Sprache: Englisch Format: Online, Online + PDF

Zusammenfassung

ISO 17331:2004 specifies chemical methods for the collection of iron and/or nickel from the surface of silicon-wafer working reference materials by the vapour-phase decomposition method or the direct acid droplet decomposition method. It applies to iron and/or nickel atomic surface densities from 6 times 10 to the power 9 atoms per square centimetre to 5 times 10 to the power 11 atoms per square centimetre.

Produktspezifikationen

Standard von ISO
Ausgabedatum: 18. Mai 2004
Edition: 1
Dokumenttyp: IS
Seiten
ISBN:

Herausgeber: ISO
Lieferant: ISO
ICS: 71.040.40
Internationales Komitee: ISO/TC 201

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