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ISO 13424:2013

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Zusammenfassung

ISO 13424:2013 specifies the minimum amount of information required in reports of analyses of thin films on a substrate by XPS. These analyses involve measurement of the chemical composition and thickness of homogeneous thin films, and measurement of the chemical composition as a function of depth of inhomogeneous thin films by angle-resolved XPS, XPS sputter-depth profiling, peak-shape analysis, and variable photon energy XPS.

Produktspezifikationen

  • Standard von ISO
  • Ausgabedatum:
  • Edition: 1
  • Dokumenttyp: IS
  • Seiten
  • Herausgeber: ISO
  • Lieferant: ISO
  • ICS: 71.040.40
  • Internationales Komitee: ISO/TC 201/SC 7